レイキを今日のような体系に作り上げたのは臼井甕男（うすいみかお）先生です。1922年（大正11年）3月臼井甕男先生（当時56歳）は悟りを求めて京都の鞍馬山に登り、そこで断食修行を行いました。そして21日目の深夜に強力な宇宙霊気が貫き、その後は彼が手を触れると癒しと浄化が起こるようになりました。この力を自分や家族で独占せず多くの人々に治癒能力を授けて喜びを共有しよう」と考えられた臼井甕男先生は、これを「臼井霊気療法」と名づけ同年4月に東京・青山にて「臼井霊気療法学会」を創設されました。施術を行うとともに霊気療法の公開伝授を行い屋外に行列ができるほど盛況だったと伝えられています。
臼井先生からレイキを伝授された人の中に、軍医であった林忠次郎（はやしちゅうじろう）先生がいらっしゃいます。林忠次郎先生は退役後に東京・信濃町で霊気療法専門の治療所を開業されました。8つの治療台と16人の霊気療法家により、1人の患者を2人で施術する方式で盛況だったと伝えられています。臨床体験を活かす為に「林霊気研究会」をつくられ臼井霊気療法をベースに独自の理論と技法を加えた「林霊気療法」を確立されました。これは海外に伝わったレイキの基礎となっています。
林霊気療法の施術を受けた人の中にハワイ生まれの日系2世ハワヨ・タカタ（高田はわよ）先生がいました。ハワヨ・タカタ先生は1935年（昭和10年）に難病のため、このままでは余命幾ばくもないと診断されます。体力をつけるためにしばらく日をおいてから手術が行なわれることになりました。しかし手術以外に何か方法があると直感を受けたハワヨ・タカタ先生は、その方法を探っているうちに林忠次郎先生の治療所を紹介されました。そして霊気療法を受けた結果、8ヵ月後には健康を取り戻されました。レイキの効果に感激されたハワヨ・タカタ先生は林忠次郎先生に弟子入りし、そこで約1年間働いた後ハワイに戻られレイキ・クリニックを開きました。そこでは施術に専念されていましたが、1977年（昭和52年）頃からレイキ伝授を行い、22人のレイキティーチャーを育成され、1980年（昭和55年）に80歳で亡くなられました。
その翌年ハワヨ・タカタ先生の孫娘であるフィリス・フルモト先生がレイキ・アライアンスを設立されハワヨ・タカタ先生の後継者としての役割を引き継ぎ多くのマスターたちがこれに参加しました。しかしレイキについて別の考えを持つ文化人類学者のバーバラ・レイ先生は、1982年（昭和57年）にアメリカン・インターナショナル・レイキアソシェイション（現在はラディアンス・テクニークと改称）を設立されハワヨ・タカタ先生が設立されたアメリカレイキ協会は、2つの大きな流れに分かれて欧米諸国に広まっていきました。
現在アメリカの病院内ではレイキ療法が認可されている州があります。イギリスやカナダではレイキヒーリングに保険が適用され先進国においてレイキは代替療法としてもポピュラーな存在となっていきました。日本においては戦後からレイキは忘れ去られたような状態でありましたが、1980年代後半に海外から逆輸入されるかたちで普及しています。1987年（昭和62年）11月、バーバラ・レイ先生の著書『レイキ療法〜宇宙エネルギーの活用』が日本で出版されてレイキがブームになります。この本の翻訳を担当されたニューヨーク在住の三井三重子先生が日本でレイキセミナーを開催されましたが三井三重子先生はレイキの2段階目までしか指導されませんでした。1993年（平成5年）初頭にはドイツ人のフランク・ペッター先生が日本人の夫人とともに札幌へ移住されました。この時フランク先生はレイキの初歩からティーチャー養成までのノウハウを日本に持ち込みレイキセミナーを開始され、それを機に日本国内でもレイキティーチャーの数は増えていきました。
日本では海外から伝わってきたレイキを西洋式、海外に伝わらなかった霊気を伝統式と呼んで区別する風潮もありますが、臼井甕男先生をレイキの創始者とし、4つのシンボル＆マントラを使用するレイキは一般に臼井レイキ、または臼井式レイキと呼ばれています。世界におけるレイキ実践者は、500万人（推定）と言われています。時代の流れと共にレイキも多様化しており、別の手法と融合させたスタイルのレイキ、オリジナルで作ったシンボルやマントラを使用するレイキなども生まれ、現在はレイキと名前の付くものが多数存在しています。その、どれが良い悪いというのはありませんので時代の流れや個人のニーズに合ったレイキを学ばれると良いでしょう。まずは基本となる臼井式レイキを習得し、その後学びを深めるために別スタイルのレイキを習得される方も多いようです。
※レイキの歴史における年表は文献などで残されているものが少ないため伝承のうちに誤って伝えられたり記憶違いがあったりなどで矛盾が生じ、正確に判明していないものもあります。ここでは通説として伝えられているものを記述しています。
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